赋能半导体产业绿色发展：绿谷环保发电机组尾气综合治理技术升级

上海某半导体企业是一家半导体行业的 "气体血液提供者"，通过提供超高纯度气体和专业技术服务，支撑着芯片制造的每一个关键环节，从光刻、蚀刻到沉积、清洗，是半导体产业链中不可或缺的重要一环。然而半导体制造过程中对电力连续要求严苛，备用柴油发电机组作为关键应急保障的设备，其尾气排放成为环保合规的核心。

针对该企业的情况，绿谷环保打造“精准捕集+高效转化”的综合治理体系，核心技术为DPF（柴油颗粒过滤器）+SCR（选择性催化还原）一体化设计，绿谷环保的颗粒捕集器采用316L合金金属丝载体，通过拦截捕捉颗粒物，采用卡扣式模块化设计，适配国内外不同的品牌，通过智能化的控制，当负载达到一定的程度，PM颗粒物发生堵塞造成高背压时控制系统报警并打开旁通，发动机需要维护时，只需要松开卡扣，转动法兰，金属滤芯可灵活抽出，通过水洗再生。

绿谷环保的SCR脱硝系统，可根据不同的品牌型号、机组功率量身定制方案，再特定的温度和条件下，通过尿素还原剂，将NOx还原成为无害的氮气和水，脱硝效率稳定在95%以上，脱硝设备可根据机组排量、排放特性，针对半导体备用机组的启停频繁的特点，优化催化剂的活性，确保在低负荷的工况下，仍能达到排放标准，通过精密的压力传感器与自动控制系统，实时监控排放数据。

项目名称：上海某半导体备用发电机组尾气综合治理

治理类型：DPF+SCR脱硝

品牌型号：康明斯KTA50-G16A

排放指标：NOx从3147mg/m3N降至200mg/m3N

烟尘原始＜200mg降至30mg

匹配型号：GRVNES50-TX-16和GRVNES50-CYJ-16-L

通过方案设计、设备指导安装一站式服务，绿谷环保将继续深化DPF+SCR技术迭代，探索更低能耗，更高效的治理方案，为集成电路制造，数据中心等场景提供竞争力的环保解决方案。绿谷环保将以技术创新为核心，以定制服务为翼，助力半导体企业绿色发展。